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BROOKS SLA7850D，NH3/30SLM, VEECO PN: 1091270-2014-

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VEECOMOCVD K465i/475i 各種配件，包括MKS 質(zhì)量流量控制器 ，BROOKS質(zhì)量

BROOKS SLA7851D，NH3/80SLM, VEECO PN: 1091270-3003-