廣州潽拓光電維修法國Alcab阿爾卡特 ATH400M法磁懸浮分子泵,Alcab ATH400M阿爾卡特分子泵進(jìn)氣法蘭口DN100 ISO-K,出氣法蘭口DN40 ISO-KF,抽速可達(dá)到320 L/s,極限壓力8x10-9 mbar,轉(zhuǎn)速為39000rpm,阿爾卡特 ATH400MT磁懸浮分子泵保養(yǎng)對應(yīng)的控制器為:Alcab ACT 600M.
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