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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
維修Agilent安捷倫 SH-110渦旋干泵及提供保養(yǎng)服務(wù)
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產(chǎn)品價(jià)格:¥1000
上架日期:2022-05-12 10:09:18
產(chǎn)地:進(jìn)口
發(fā)貨地:廣東廣州
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1臺(tái)
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詳細(xì)說(shuō)明
    ? ? ?干泵的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個(gè)方面:1,低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;2.半導(dǎo)體刻腐蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到生成腐蝕氣體和研磨微粒;3.除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝。在這些工藝中,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排除泵外,用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿(mǎn)足要求;4.化學(xué)工業(yè)、醫(yī)學(xué)工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵;5.用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染。
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