適用多氣體/多量程
· 高精度：保證±1.0% S.P.(設(shè)置點(diǎn))
· 高速響應(yīng)：滿量程1秒以內(nèi)(T98) 搭載有可變 PID
· 適用于微小流量到大流量(200SLM ： SEC-Z540系列)
· 小型尺寸：適于面間距離 106mm、1.125inch(英寸)氣體面板、到50SLM同一面間距離的106mm
· 超清潔類型：接氣部采用全不銹鋼構(gòu)造，其內(nèi)面進(jìn)行研磨標(biāo)準(zhǔn)處理
· 和模擬MFC之間的完全互換：與數(shù)字/模擬通信相對(duì)應(yīng)(SEC-Z512MG/Z522MG)