產(chǎn)品描述
實(shí)現(xiàn)非接觸，高速和高精度測(cè)量
多用途型， 測(cè)量范圍從1mm - 60mm。
高測(cè)量精度，在全測(cè)量范圍內(nèi)達(dá)±3um。在窄測(cè)量范圍內(nèi)達(dá)±(1.5+0.5ΔD)um高測(cè)量精度。
高重復(fù)精度達(dá)±0.36um。
技術(shù)參數(shù)
測(cè)量范圍： 1—60mm
分辨率： 0.00005一0.1mm可選
20℃時(shí)的直線度*： 寬范圍：±3.0um
窄范圍：±(1.5+0.5ΔD)um
重復(fù)精度(±2σ)： ±0.36um
定位誤差**： ±4um
測(cè)量區(qū)域： 20x60mm
激光波長(zhǎng)： 650nm，可見(jiàn)光
掃描速率： 3200 scans/s
激光掃描速度： 452m/s
激光適用標(biāo)準(zhǔn)： IEC，F(xiàn)DA (544-538)，JIS (544-537)
*在測(cè)量區(qū)域中心
**在測(cè)量區(qū)域中由于工件定位的變化造成可能的測(cè)量錯(cuò)誤
