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產(chǎn)品簡介
勻膠顯影機(jī)
勻膠顯影機(jī)
產(chǎn)品價格:¥8.00
上架日期:2024-12-23 02:30:44
產(chǎn)地:上海上海
發(fā)貨地:上海上海
供應(yīng)數(shù)量:不限
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詳細(xì)說明
    產(chǎn)品參數(shù)
    品牌鑫有研
    是否支持加工定制
    是否進(jìn)口
    LCD顯示更新LED
    安裝方式指導(dǎo)
    包裝規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)
    可售賣地全國

    凈化勻膠顯影機(jī)是適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。是集成電路及半導(dǎo)體件生產(chǎn)過程中涂復(fù)光致抗腐蝕劑的專用設(shè)備

    設(shè)備中涂膠部分四個工位單片微型機(jī)控制四個工位同時工作或分別工作,即各工位的運轉(zhuǎn)單獨傳動,轉(zhuǎn)數(shù)單獨調(diào)節(jié)及單獨顯示。

    為保證在涂膠工藝中不飛片,設(shè)備中吸頭和氣泵中間有四個電磁閥,同時增加一個負(fù)壓儲氣罐,保證了吸片牢固和可靠性。

    設(shè)備中配有專用的空氣凈化裝置。

    主要技術(shù)指標(biāo):

    主要技術(shù)指標(biāo)
    顯影工位: 一個操作工位
    程序時間: 顯影1—99秒 漂洗1—99秒 干燥1—99秒
    旋轉(zhuǎn)器轉(zhuǎn)數(shù): 500—8000轉(zhuǎn)/分(連續(xù)可調(diào))
    硅片直徑: Φ30—Φ75mm
    凈化效果:美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)100級凈化

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