| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 鑫有研 | ||
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一.技術(shù)特征
用途：在平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤等刻劃中具有突出的功能與用途。
技術(shù)特點：
1、采用3500W直流高壓汞燈；
2、 采用蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明；
3、 實現(xiàn)超大面積光刻；
4、采用CCD自動對準，自動化程度高；
5、性能可靠、操作方便。
主要技術(shù)指標：
1、 曝光面積：430 mm×430 mm；
2、分辨力：3μm；
3、對準精度：≤±1μm ；
4、掩模尺寸：16英寸、17英寸、18英寸、20英寸；
5、照明均勻性：±10（430 mm×430 mm范圍）；
6、掩模相對于樣片運動行程：X: ±6mm; Y: ±6mm;θ: ±6度；
.jpg "大面積紫外光刻機URE-2000D系列光刻機")