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單面自動紫外光刻機

型號：URE-2000/35A

簡單介紹：光刻機：(英文名：Mask ALIGENER)又名曝光機, 該型號光刻機創(chuàng)新采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調平、接觸、曝光、復位實現(xiàn)自動化控制；采用創(chuàng)新技術積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設定分離間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。
二．技術參數(shù)
1、曝光面積：150mm×150mm
2、分辨力：1μm（膠厚2mm的正膠）
3、對準精度：：±0.5μm
4、掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm
5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
6、樣片尺寸直徑Ф15mm--Ф100mm(可適應非標準片或碎片)
7、厚度0.1mm-6mm(可擴展為15mm)
8、照明均勻性：±3.5（Ф100mm范圍）
9、掩模相對于樣片運動行程： X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度
10、汞燈功率：350W（直流）
11、曝光波長：365nm（進口汞燈）
12、曝光能量密度：25mW/cm 可以根據需要增強或調弱(420nm以上波長小于0.1mW/cm )
13、曝光方式：定時（到計時方式0.1s—999.9s）