Veeco K465i外延設備濾芯
產品說明：
該產品系我司針對Veeco K465i設備設計生產的濾芯，安裝于真空泵前，用于濾除混合氣體中的粉塵和顆粒；
2只/組（粗濾、細濾）
組成材料：
1、濾材： 耐高溫玻纖濾料
2、支撐材料：雙面304#不銹鋼金屬網
3、骨架：304#不銹鋼菱形網
4、密封墊圈：硅發(fā)泡橡膠墊片
5、密封膠：硅橡膠
規(guī)格：
1、端蓋：φ360*φ225，304#不銹鋼
2、耐高溫密封墊：φ340*φ265*T5
3、折數：一級（100μm）:118折, 折高65mm;二級（25μm）:88折，折高65mm
過濾效率：
1、粗濾：100μm=90%
2、細濾：25μm=99.95%
3、透氣量：1000L/Sec/㎡
產品特性：
1、采用兩級過濾工藝，分級過濾雜質、有效去除不同大小的顆粒雜質。
2、波紋工藝，有效過濾面積增加，容污能力強，使用周期長。
3、濾料采用玻纖濾料，具耐高溫、耐腐蝕，長期使用溫度可達250度以上。
4、專用的高精度過濾材料，空隙均勻，過濾精度高，有效保護設備。
