邊緣差壓表
產(chǎn)品說明：
出色的指示線性度、滯后性和再現(xiàn)性，可實現(xiàn)對小壓差區(qū)域的高精度測量產(chǎn)品用途：
主要利用領(lǐng)域半導體制造裝置零件集塵機負壓
?空調(diào)設(shè)備差壓過濾器壓損管理?無塵室室壓力測量
型號組成：
規(guī)格：
|
規(guī)格 |
橫標尺 |
縱標尺 |
分色橫標尺 |
||||
|
FR51AHV |
FR51AVV |
FR51ACV |
|||||
|
壓力單位 |
Pa、kPa |
||||||
|
壓力測定方式 |
差圧式 |
||||||
|
受壓元件 |
ダイヤフラム |
||||||
|
測定氣體體 |
空気および非腐食性ガス（液體は不可） |
||||||
|
刻度形狀 |
エッジワイズ形（目盛長 約45㎜） |
||||||
|
使用環(huán)境溫度 |
－10～＋50℃（ただし氷結(jié)しないこと） |
||||||
|
使用環(huán)境濕度 |
90％RH以下（ただし結(jié)露しないこと） |
||||||
|
儀表本體耐壓 |
50kPa |
||||||
|
外 裝 材 質(zhì) |
ポリカーボネート |
||||||
|
耐 久 振 動 |
5 ～10Hz 振幅10㎜、 10～50Hz 加速度39ｍ/s 2 （3軸方向各2h） |
||||||
|
耐 久 沖 撃 |
100ｍ/s 2 （3軸方向各6回） |
||||||
|
適 合 配 管 |
ビニル管またはゴム管（內(nèi)徑4） |
||||||
|
口 金 部 |
本體と一體成形 |
||||||
|
口 金 極 性 |
高圧側(cè)「Ｈ」、低圧側(cè)「Ｌ」のマークにて口金部に表示 |
||||||
|
質(zhì) 量 |
約90g |
||||||
|
圧力レンジコード |
圧力レンジ |
取付姿勢 （下記參照） |
精度（注） （23℃において） |
受圧エレメント材質(zhì) |
受圧エレメント耐圧力 |
||
|
50DH |
0～50 Pa |
水平 |
±2．5％FS
|
シリコーンゴム |
20 kPa |
||
|
50DV |
垂直 |
||||||
|
100DH |
0～100 Pa |
水平 |
|||||
|
100DV |
垂直 |
||||||
|
200D |
0～200 Pa |
水平 ～ 垂直 ～ 下向水平間 取付任意 |
|||||
|
300D |
0～300 Pa |
||||||
|
500D |
0～500 Pa |
||||||
|
1000D |
0～1000 Pa |
||||||
|
2E |
0～2 kPa |
||||||
|
3E |
0～3 kPa |
||||||
|
5E |
0～5 kPa |
水平 |
|||||
|
＋－50 DH |
－50～＋50 Pa |
垂直 |
|||||
|
＋－50 DV |
|
||||||
|
＋－100 D |
－100～＋100 Pa |
水平～垂直 ～下向水平間取付任意 |
|||||
安裝姿勢和范圍：
產(chǎn)品圖片：
產(chǎn)品尺寸：
構(gòu)造概要：
