5100系列是一款質(zhì)量流量控制器，它實現(xiàn)了無焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封的基本性能，以及半導(dǎo)體工藝氣體控制所需的±1％精度。
板載傳感器的響應(yīng)能力。它具有出色的分辨率，可以處理1 sccm（N2）的微流量。
通過使用溫度跟蹤型電流差檢測流量傳感器實現(xiàn)高精度，高速傳感器響應(yīng)
采用電磁鐵電磁閥常閉閥
由于無焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封，泄漏低
采用隔膜閥，減少死體積
面對面，體型和接線連接與其他公司的更換兼容
技術(shù)參數(shù)：
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流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） |
1SCCM~20SLM（任意條件選擇） | |
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| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
約1000g
閥門方式
比例螺線管閥門（未通電時關(guān)閉）
控制范圍
2~100％（F.S.）
響應(yīng)速度
1秒內(nèi)（±2％F.S.內(nèi)）
準(zhǔn)確性
±1％F.S.
溫度系數(shù)
0.1％F.S./°C（15~35°C）
再現(xiàn)性
±0.2%F.S.
操作壓差范圍
F.S.≤5SLM50. 300kPa
F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa
選項：低壓差規(guī)格（LP）可根據(jù)條件制造
可工作壓力
300kPa（G）以下
耐壓
980kPa（G）
He泄漏率
1 x 10-11 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度
0~50℃
允許環(huán)境濕度
10~90%RH（無結(jié)露）
氣體接觸材料
車身SUS316L
隔膜SUS316L
閥座PTFE
密封材料SUS316L，Ni，Au
選項：SUS密封（SU），內(nèi)部磨削規(guī)格（KP）
電氣連接
Dsub 9針KFC 標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）
流量設(shè)定
輸入信號
0~5 VDC（輸入阻抗1MΩ以上）
流量輸出信號
0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上）
所需電源
+15 VDC（±5％）100 mA，
-15 VDC（±5％）200 mA
配件（車身尺寸）
標(biāo)準(zhǔn)1/4 VCR等效選項1/4 SWL
重量
