玻璃基微流控芯片激光雕刻設(shè)備是一款基于CO?激光技術(shù)的加工系統(tǒng),專為玻璃、石英等硬脆材料的微流控芯片制造而研發(fā)。設(shè)備通過高精度激光能量控制,實現(xiàn)玻璃基材的無損切割、微通道雕刻及表面改性,突破傳統(tǒng)光刻工藝的復雜流程與高成本限制,為生物醫(yī)學檢測、高通量藥物篩選、即時診斷(POCT)等領(lǐng)域提供高效、靈活的加工解決方案。
核心技術(shù)優(yōu)勢
亞微米級精密加工
采用超穩(wěn)定CO?激光源與高精度振鏡系統(tǒng),聚焦光斑直徑小,雕刻精度高,輕松實現(xiàn)玻璃基芯片中微通道、微反應腔及復雜結(jié)構(gòu)的無掩模直寫,確保流體控制的精準性與一致性。
支持多層玻璃基板的對位雕刻與透射式加工,滿足微混合器、液滴生成器等精密功能單元的一體化成型需求。
無裂紋冷加工技術(shù)
創(chuàng)新脈沖激光調(diào)制技術(shù),結(jié)合實時溫度監(jiān)測系統(tǒng),有效控制熱影響區(qū),避免玻璃因熱應力產(chǎn)生微裂紋或崩邊,成品良率提升至99%以上。
非接觸式加工避免機械應力損傷,邊緣粗糙度低,可直接進行親疏水改性或鍵合封裝。
智能化工藝集成
搭載專用微流控設(shè)計軟件,支持AutoCAD、DWG文件一鍵導入,加工效率較傳統(tǒng)工藝提升3倍。
多材料兼容性與擴展性
除玻璃基材外,兼容PDMS、PMMA等微流控常用材料的切割與打標,支持異質(zhì)材料復合器件加工,助力器官芯片、單細胞分析等前沿研究。
典型應用場景
生物檢測芯片:快速雕刻微量樣本檢測通道,適配生化傳感、DNA分析等應用。
高通量藥物篩選:批量加工多孔微腔陣列芯片,提升藥物遞送實驗效率。
即時診斷(POCT)設(shè)備:高精度制作低成本一次性玻璃芯片,滿足體外診斷設(shè)備量產(chǎn)需求。
光學微流控器件:利用玻璃透光性優(yōu)勢,加工集成光學檢測窗口的微流控系統(tǒng)。
服務與保障
全周期支持:提供工藝開發(fā)、設(shè)備培訓及定制化解決方案,協(xié)助客戶快速實現(xiàn)從設(shè)計到量產(chǎn)。
品質(zhì)認證:核心部件采用進口配置,確保設(shè)備壽命超10萬小時。
安全防護:全封閉式艙體設(shè)計,配備Class 1激光安全防護與智能除塵系統(tǒng),保障操作安全性與環(huán)境清潔度。
選擇我們的理由
突破技術(shù)瓶頸:替代傳統(tǒng)光刻與濕法蝕刻,加工周期縮短70%,單件成本降低60%。
高兼容性與靈活性:支持科研級小批量試制與工業(yè)級連續(xù)生產(chǎn),無縫銜接微流控芯片迭代需求。
可持續(xù)升級:模塊化設(shè)計支持功率升級(30W-100W)與AI工藝優(yōu)化系統(tǒng)擴展,持續(xù)賦能未來創(chuàng)新。