攜手同行日喀則仁布新能源實(shí)驗(yàn)室氣路安裝團(tuán)隊(duì)
氣路工程施工流程需遵循科學(xué)規(guī)范的步驟，從前期規(guī)劃到后期驗(yàn)收環(huán)環(huán)相扣，確保系統(tǒng)安全可靠。以下是核心流程解析：
一、前期籌備階段
1. 需求調(diào)研與方案設(shè)計(jì)
- 明確用氣場(chǎng)景（實(shí)驗(yàn)室、工業(yè)生產(chǎn)等）、氣體種類(lèi)（如氧氣、氫氣、特種氣體）、流量、壓力及純度要求。
- 結(jié)合場(chǎng)地布局（建筑結(jié)構(gòu)、空間尺寸）規(guī)劃氣路走向，避免與水電管線(xiàn)沖突，預(yù)留檢修空間。
2. 技術(shù)交底與圖紙確認(rèn)
- 設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)與施工方、甲方溝通方案細(xì)節(jié)，明確材料標(biāo)準(zhǔn)（如不銹鋼管材規(guī)格、閥門(mén)型號(hào)）、焊接工藝要求。
- 確認(rèn)施工圖紙中的管道坡度、支架位置、氣體終端點(diǎn)位等關(guān)鍵參數(shù)。
二、材料與設(shè)備準(zhǔn)備
- 核心材料采購(gòu)：根據(jù)設(shè)計(jì)要求采購(gòu)不銹鋼管材（常選316L/304材質(zhì)）、高純氣體閥門(mén)、接頭、壓力表、過(guò)濾器等，確保材料符合潔凈度或防爆標(biāo)準(zhǔn)（如氫氣路需防爆配件）。
- 設(shè)備調(diào)試：準(zhǔn)備自動(dòng)焊接機(jī)、切割工具、氣體檢漏儀、壓力測(cè)試設(shè)備等，確保工具性能達(dá)標(biāo)。
三、現(xiàn)場(chǎng)施工階段
1. 管道預(yù)制與加工
- 按圖紙切割管材，采用專(zhuān)用工具避免管口毛刺（高純氣路需額外進(jìn)行內(nèi)壁拋光）。
- 對(duì)管材進(jìn)行焊接預(yù)處理（如去油污、干燥），復(fù)雜節(jié)點(diǎn)可提前預(yù)制組件。
2. 管道安裝
- 按規(guī)劃鋪設(shè)主管道與分支管道，使用支架固定確保垂直度與坡度（如氣體管道坡度≥0.3%，防止冷凝水積聚）。
- 易燃易爆氣體管道需單獨(dú)鋪設(shè)，與其他管線(xiàn)保持安全距離，并做接地處理。
3. 附件與終端安裝
- 安裝閥門(mén)、壓力表、流量計(jì)等控制元件，確保連接緊密；在實(shí)驗(yàn)臺(tái)或設(shè)備端安裝氣體終端接口，標(biāo)注氣體類(lèi)型及壓力范圍。
四、焊接與密封處理
- 焊接工藝：采用自動(dòng)氬弧焊（TIG焊）保證焊縫均勻，避免氣孔、裂紋（高純氣路需充氬氣保護(hù)焊接，防止氧化）。
- 密封檢測(cè)：焊接后對(duì)接口進(jìn)行初步目視檢查，并用密封膠或生料帶處理螺紋連接處（禁用于氧氣等助燃?xì)怏w，避免燃爆風(fēng)險(xiǎn)）。
半導(dǎo)體生產(chǎn)流程由晶圓制造，晶圓測(cè)試，芯片封裝和封裝后測(cè)試組成，晶圓制造和芯片封裝討論較多，而測(cè)試環(huán)節(jié)的相關(guān)知識(shí)經(jīng)常被邊緣化，下面集中介紹集成電路芯片測(cè)試的相關(guān)內(nèi)容，主要集中在WAT，CP和FT三個(gè)環(huán)節(jié)。集成電路設(shè)計(jì)、制造、封裝流程示意圖WAT（WaferAcceptanceTest）測(cè)試，也叫PCM（ProcessControlMonitoring），對(duì)Wafer劃片槽（ScribeLine）測(cè)試鍵（TestKey）的測(cè)試，通過(guò)電性參數(shù)來(lái)監(jiān)控各步工藝是否正常和穩(wěn)定，CMOS的電容，電阻，Contact，blLine等，一般在wafer完成制程前，是Wafer從Fab廠出貨到封測(cè)廠的依據(jù)，測(cè)試方法是用ProbeCard扎在TestKey的blPad上，ProbeCard另一端接在WAT測(cè)試機(jī)臺(tái)上，由WATRecipe自動(dòng)控制測(cè)試位置和內(nèi)容，測(cè)完某條TestKey后，ProbeCard會(huì)自動(dòng)移到下一條TestKey，直到整片Wafer測(cè)試完成。
五、系統(tǒng)檢測(cè)與調(diào)試
1. 壓力測(cè)試
- 向管道內(nèi)充入干燥氮?dú)饣驂嚎s空氣，逐步升壓至設(shè)計(jì)壓力的1.15-1.5倍，保壓30分鐘以上，觀察壓力降是否符合標(biāo)準(zhǔn)（通?！?.5%）。
2. 泄漏檢測(cè)
- 使用氦質(zhì)譜檢漏儀或肥皂泡法檢查所有接口，泄漏率需≤1×10?? Pa·m3/s（高純氣路要求更高）。
3. 氣體純度測(cè)試
- 對(duì)輸送特種氣體的管道，需檢測(cè)內(nèi)壁潔凈度（如顆粒度、含氧量），確保氣體純度達(dá)標(biāo)（如電子級(jí)氣體純度≥99.999%）。
4. 功能調(diào)試
- 調(diào)試減壓閥、流量計(jì)等元件，確保氣體壓力、流量穩(wěn)定可控，終端輸出符合使用需求。
六、驗(yàn)收與交付
- 文件歸檔：提交施工圖紙、材料合格證、檢測(cè)報(bào)告（壓力測(cè)試、泄漏檢測(cè)記錄）等資料。
- 甲方驗(yàn)收：現(xiàn)場(chǎng)演示氣路系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)，確認(rèn)無(wú)泄漏、參數(shù)穩(wěn)定后簽署驗(yàn)收?qǐng)?bào)告。
- 培訓(xùn)與維護(hù)：為使用方提供操作培訓(xùn)，說(shuō)明日常維護(hù)要點(diǎn)（如定期檢漏、更換過(guò)濾器）。
七、后期維護(hù)與優(yōu)化
- 定期對(duì)氣路系統(tǒng)進(jìn)行巡檢，重點(diǎn)檢查老化部件或腐蝕情況，對(duì)高純氣路可安排定期清洗或鈍化處理，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
整個(gè)流程需嚴(yán)格遵循行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（如GB 50235工業(yè)管道施工規(guī)范、ISO氣體管道設(shè)計(jì)規(guī)范），尤其注重安全性與潔凈度控制，避免因施工疏漏導(dǎo)致氣體泄漏、污染等風(fēng)險(xiǎn)。
[智能標(biāo)題] 遼陽(yáng)太子河制藥實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)優(yōu)化與安全升級(jí)研究
