| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號(hào) | SHG-25-120-2UJ |
| 類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 中等沖擊載荷 |
| 傳動(dòng)比級(jí)數(shù) | 雙級(jí) | 軸的相對(duì)位置 | 立式加速器 |
| 傳動(dòng)布置形式 | 同軸式 | 加工定制 | 是 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 現(xiàn)貨 | 齒面硬度 | 軟齒面 |
| 布局形式 | 三環(huán)式 | 用途 | 變速機(jī) |
| 輸入轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | 額定功率 | 360kw |
| 輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 50rpm | 許用扭矩 | 691N.m |
| 使用范圍 | 化工 | 減速比 | 454 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
包括硅片清洗、脫水烘培、硅片成底膜三個(gè)步驟。哈默納科伺服關(guān)節(jié)諧波SHG-25-120-2UJ氣相成底膜采用濕法清洗和去離子水沖洗以去除玷污物，通過(guò)脫水烘培去除水汽，然后馬上用六甲基二硅烷（HMDS）進(jìn)行成底膜處理，它起到提高粘附力的作用。成底膜過(guò)程通常在如圖2.15所示自動(dòng)化軌道系統(tǒng)上與其他工藝按順序完成。
2.旋轉(zhuǎn)涂膠
光刻膠最基本的組成是有哈默納科伺服關(guān)節(jié)諧波SHG-25-120-2UJ機(jī)溶劑中的一種聚合物溶液。光刻膠的物理特性包括分辨率、對(duì)比度、敏感度、粘滯性、粘附性、抗蝕性、表面張力、存儲(chǔ)與傳送特性、玷污和哈默納科伺服關(guān)節(jié)諧波SHG-25-120-2UJ顆粒控制等。光刻膠主要有兩個(gè)作用：將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠上
