| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | KRI | 型號 | KRI霍爾離子源eH2000 |
| 用途 | 工業(yè)用 | 加工定制 | 是 |
上海伯東代理美國考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 霍爾離子源 eH 2000 特別適合大中型真空系統(tǒng), 帶有水冷方式, 低成本設(shè)計提供高離子電流. 通常應(yīng)用于離子輔助鍍膜, 預(yù)清洗和低能量離子蝕刻.
尺寸: 直徑= 5.7“ 高= 5.5”
放電電壓 / 電流: 50-300V / 10A 或 15A
操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機前體
伯東 KRI 霍爾離子源 eH 2000 特性：
1.水冷 - 與 KRI 霍爾離子源 eh 1000 對比, 提供更高的離子輸出電流
2.可拆卸陽極組件 - 易于維護; 維護時, 最大限度地減少停機時間; 即插即用備用陽極
3.寬波束高放電電流 - 高電流密度; 均勻的蝕刻率; 刻蝕效率高; 高離子輔助鍍膜 IAD 效率
4.多用途 - 適用于 Load lock / 超高真空系統(tǒng); 安裝方便
5.高效的等離子轉(zhuǎn)換和穩(wěn)定的功率控制
伯東 KRI 霍爾離子源 Gridless eH 系列在售型號及技術(shù)參數(shù):
離子源型號
eH2000
Cathode/Neutralizer
F or HC
電壓
50-300V
電流
10A
散射角度
>45
氣體流量
2-75sccm
高度
4.0“
直徑
5.7“
水冷
是
eH2000LE
eH2000HO
HC
HC
30-150V
50-250V
15A
15A
可充其他
Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others
伯東 KRI 霍爾離子源 eH2000 應(yīng)用領(lǐng)域：
1. 離子輔助鍍膜 IAD
2. 預(yù)清洗 Load lock preclean
3. 預(yù)清洗 In-situ preclean
4. Direct Deb
5. Surface Modification
6. Low-energy etching
7. III-V Semiconductors
8. Polymer Substrates
