| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號 | CSF-11-50-2 |
| 類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 中等沖擊載荷 |
| 傳動比級數(shù) | 雙級 | 軸的相對位置 | 立式加速器 |
| 傳動布置形式 | 擺線式 | 加工定制 | 否 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 樣品 | 齒面硬度 | 軟齒面 |
| 布局形式 | 三環(huán)式 | 用途 | 減速機 |
| 輸入轉(zhuǎn)速 | 960rpm | 額定功率 | 360kw |
| 輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 50rpm | 許用扭矩 | 691N.m |
| 使用范圍 | 化工 | 減速比 | 46 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
既是化學反應，故免不了「質(zhì)量傳輸」與「化學反應」兩部份機制harmonic質(zhì)量傳輸諧波CSF-11-50-2XH-Fc。由于化學反應隨溫度呈指數(shù)函數(shù)之變化，故當高溫時，迅速完成化學反應。換言之，整體沉積速率卡在質(zhì)量傳輸(diffusion-limited)；而此部份事實上隨溫度之變化，不像化學反應般敏感。harmonic質(zhì)量傳輸諧波CSF-11-50-2XH-F所以對于化學氣相沉積來說，，提高制程溫度，容易掌握沉積的速率或制程之重復性。
然而高制程溫度有幾項缺點：?高溫制程環(huán)境所需電力成本較高。
高溫成長之薄膜，冷卻至常溫后，會產(chǎn)生因各基板與薄膜間熱脹縮程度不同之殘留應力(residualstress)。
所以，低制程溫度仍是化學氣相沉積追求的目標之一harmonic質(zhì)量傳輸諧波CSF-11-50-2XH-F，惟如此一來，在制程技術(shù)上面臨之問 題及難度也跟著提高。
