| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HVA | 型號 | HVA21200 |
| 標準 | 美標 | 加工定制 | 是 |
HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列為百萬周期真空閘閥, 專為高真空應用而設計, 特別適合 1x10-9 mbar 高真空且烘烤溫度不超過 150°C的應用.
HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列內部沒有機械鎖, 非常適合對于要求無振動運行的半導體和敏感工藝. 所有活動關節(jié)的軸都經過硬化處理, 減少了顆粒物的產生并提供了更平穩(wěn)的驅動.
清潔和高密封性保證 HVA 真空閥門與低溫泵、渦輪分子泵, 離子泵等完美聯(lián)用.
上海伯東是美國 HVA 真空閥門在中國地區(qū)唯一指定總代理商.
HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列產品特點:
1. 直線驅動允許使用焊接波紋管來密封驅動器.
2. 獨特的氣缸設計使沖擊和振動減少到最小.
3. HVA真空閘閥 21200 系列真空腔內沒有機械鎖, 因此特別適合應用于半導體制造和其他要求低振動的敏感加工工業(yè).
4. 所有移動的接頭都有硬軸有效減少微粒的產生并且使驅動更容易.
5. HVA 不銹鋼閥體真空閘閥提供了真空閥門業(yè)界最小的內部表面區(qū)域.
6. 閥體和所有內部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr的真空爐中一體釬焊完成, 確保了閥門的最大完整性.
7. 在保養(yǎng)方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空閥門從整個系統(tǒng)中拆卸出來.
8. 閥門驅動手動、氣動可選.
9. 標準或定制法蘭滿足不同應用.
10. HVA 標準周期真空閥門 21200 系列可任意位置安裝.
11. 電磁閥控制并帶有手動超控.
閥門材質：
閥門主體
304不銹鋼
焊接波紋管軸封
AM-350
驅動軸和驅動銷
硬質不繡鋼
密封件
氟橡膠
真空：
壓力范圍
1x10-9 mbar
漏率
< 2x10-9 mbar l/S
差壓關閉
1 bar (任意位置)
開啟前最大壓力
≤ 30 mbar
烘烤溫度（不含電磁閥）：
佛橡膠密封
150 °c
驅動方式
手動 60 °c; 氣動 60 °c
使用壽命：1,000,000啟閉次數(shù)
公稱通徑：DN16-320 mm
HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列 技術參數(shù)：
DN
Model
mm
inch
Number
16
0.625
21212-006_
40
1.5
21212-015_R
50
2
21212-020_R
63
2.5
21212-025_R
80
3
21212-030_R
100
4
21212-040_R
160
6
21212-060_R
200
8
21212-080_R
250
10
21212-100_R
320
12
21212-120_R
HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列產品部件圖
HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列產品訂貨號
HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列產品選件
1. 定制法蘭
2. 帶銅帽的特高壓版本
3. 備用O形圈材料
4. 備用螺線管電壓
5. 位置指示器的微動開關
6. 粗加工
7. 電機操作員
8. 高溫組件，包括O形圈，微動開關和執(zhí)行器。
9. 較大的尺寸
