詳細(xì)參數(shù) | |||
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品牌 | HarmonicDrive | 型號(hào) | CSF-17-80-2A-R |
類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 強(qiáng)沖擊載荷 |
傳動(dòng)比級(jí)數(shù) | 雙級(jí) | 軸的相對(duì)位置 | 立式加速器 |
傳動(dòng)布置形式 | 擺線式 | 加工定制 | 是 |
樣品或現(xiàn)貨 | 現(xiàn)貨 | 齒面硬度 | 硬齒面 |
布局形式 | 三環(huán)式 | 用途 | 減速機(jī) |
輸入轉(zhuǎn)速 | 3000rpm | 額定功率 | 360kw |
輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 50rpm | 許用扭矩 | 1782N.m |
使用范圍 | 工業(yè) | 減速比 | 2422 |
產(chǎn)地 | 日本 |
前段述及的光罩制作,是微影之關(guān)鍵技術(shù)。其制作方式經(jīng)幾十年之演進(jìn),日本HD縮影機(jī)傳動(dòng)CSF-17-80-2A-R 已由分辨率差的縮影機(jī)(由數(shù)百倍大的紅膠紙【rubby-lith】圖樣縮影)技術(shù),改良為直接以計(jì)算日本HD縮影機(jī)傳動(dòng)CSF-17-80-2A-R機(jī)輔助設(shè)計(jì)制造(CAD/CAM)軟件控制的雷射束(laser-beam)或電子束(E-beam)書寫機(jī),在具光阻之石英玻璃板上進(jìn)行書寫(曝光),分辨率(最小線寬)也改進(jìn)到微米的等級(jí)。?由于激光打印機(jī)的分辨率越來(lái)越好,未來(lái)某些線寬較粗的光罩可望直接以日本HD縮影機(jī)傳動(dòng)CSF-17-80-2A-R打印機(jī)出圖。舉例而言,3386dpi的出圖機(jī),最小線寬約為七微米