| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號(hào) | CSG-50-120-2UH |
| 類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 中等沖擊載荷 |
| 傳動(dòng)比級(jí)數(shù) | 雙級(jí) | 軸的相對(duì)位置 | 立式加速器 |
| 傳動(dòng)布置形式 | 同軸式 | 加工定制 | 否 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 現(xiàn)貨 | 齒面硬度 | 軟齒面 |
| 布局形式 | 擺線式 | 用途 | 減速機(jī) |
| 輸入轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | 額定功率 | 15kw |
| 輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 111rpm | 許用扭矩 | 52000N.m |
| 使用范圍 | 工業(yè) | 減速比 | 46 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
高溫爐管升至工作溫度后，把待擴(kuò)散晶圓推入爐中哈默納科蒸汽諧波齒輪CSG-50-120-2UH，然后開始釋放擴(kuò)散源(p型擴(kuò)散源通常是固體呈晶圓狀之氮化硼【boron-nitride】芯片，n型則為液態(tài)POCl3之加熱蒸氣)進(jìn)行擴(kuò)散哈默納科蒸汽諧波齒輪CSG-50-120-2UH。其濃度剖面外形之特征是雜質(zhì)集中在表面，表面濃度最高，并隨深度迅速減低，或是說表面濃度梯度(gradient)值極高。
3、后驅(qū)入(postdrive-in)? 第二種定攙雜量的邊界條件，哈默納科蒸汽諧波齒輪CSG-50-120-2UH具有高斯分布(Gaussiandistribution)的濃度解析解。對(duì)應(yīng)之?dāng)U散處理程序叫做「后驅(qū)入」，即一般之高溫退火程序；基本上只維持爐管的驅(qū)入工作溫度.
