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產(chǎn)品簡介
回轉(zhuǎn)CVD設(shè)備 BTF-1200C-V-R-280
產(chǎn)品價(jià)格:¥1.00元/套
上架日期:2020-08-11
發(fā)貨地:安徽 合肥市
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1套
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詳細(xì)說明
    詳細(xì)參數(shù)
    品牌其他型號(hào)BTF-1200C-V-R-280
    電源其他加工定制
    外形尺寸其他產(chǎn)地安徽合肥

    一、設(shè)備特點(diǎn):

    1、本設(shè)備提供一個(gè)五溫區(qū)的超長溫場,五個(gè)溫區(qū)可獨(dú)立控制

    2、保溫材料采用氧化鋁纖維防塵處理,上下可電動(dòng)開啟。

    3、流量計(jì)和加熱采用模塊化設(shè)計(jì),便于維護(hù)保養(yǎng)。

    4、加熱元件采用康泰爾摻鉬合金電阻絲,zui高使用溫度可以達(dá)到1200度,使用壽命長,溫場流場均勻。

    5、采用觸摸屏和工控電腦自動(dòng)控制,參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便,參數(shù)自動(dòng)記錄保持。

    6、設(shè)備集成化設(shè)計(jì)、以及集成化管理,美觀方便。

     

    二、設(shè)備組成:

    加熱系統(tǒng),爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng),螺旋送料系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、工控及操作系統(tǒng)。


    1、加熱系統(tǒng):

    該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研溫,電力調(diào)制器控制;負(fù)載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測(cè)溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無須操作人單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,適合中低溫度加熱系統(tǒng)。

    高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控員的干預(yù),可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號(hào),同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報(bào)警保護(hù)功能,大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求。

     

    2、爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng):

    爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào),且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長時(shí)間運(yùn)行。管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻。

     

    3、螺旋送料器:

    先將樣品儲(chǔ)存于樣品罐中,通過螺旋送料器將樣品送入石英管內(nèi)。樣品送完之后送料桿退回到原始位置。周而復(fù)始,達(dá)到自動(dòng)送料。

    4、供氣系統(tǒng):

    供氣系統(tǒng)是一種可控制三種氣體按不同流量進(jìn)行混合配比,也可根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求加裝洗氣裝置,質(zhì)量流量計(jì)安裝于密封的可移動(dòng)機(jī)柜內(nèi),由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成,觸摸屏控制。

    5、真空系統(tǒng):

    真空機(jī)組,內(nèi)部安裝BSV-60機(jī)械泵1臺(tái),電阻真空計(jì)1套,并含有配套使用的波紋管,手動(dòng)擋板閥,卡箍等連接部件。

     

     

    三、加熱主體設(shè)備技術(shù)參數(shù):

     

    腔體尺寸

    外徑Φ280 ,Φ300,Φ400,Φ500,Φ600尺寸可選 (中間異型區(qū)域尺寸)

    爐膛保溫材料

    氧化鋁纖維

    表面溫度

    ≤60℃

    加熱元件

    進(jìn)口KTL電阻絲

    加熱區(qū)數(shù)量

    5區(qū),每個(gè)溫度獨(dú)立控制,使溫場均勻性更好

    加熱區(qū)長度

    300+300+300+300+300mm

    恒溫區(qū)長度

    真空條件兩端加氧化鋁管堵的情況下,兩個(gè)溫區(qū)設(shè)定同一溫度是恒溫區(qū)可達(dá)1200mm

    zui高溫度

    1200℃

    建議長時(shí)間使用溫度

    <1100℃

    控溫精度

    ±1℃

    升溫速率

    0-20℃/min,建議升溫速率10℃/min

    設(shè)備功率

    28KW

    設(shè)備工作電源

    380V/50HZ

    熱電偶型號(hào)

    K型

    控制器

    可編程控溫儀表,PID調(diào)節(jié),升、降保溫全自動(dòng)

    控溫方式

    人機(jī)界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,數(shù)字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實(shí)現(xiàn)雙控,采用模糊型PID控制

    無紙記錄

    內(nèi)置存儲(chǔ)記錄運(yùn)行工藝數(shù)據(jù),外接USB接口,可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù)

    結(jié)構(gòu)描述

    設(shè)備可對(duì)半電動(dòng)開啟,加快冷卻速度、表面溫度低于60℃

    轉(zhuǎn)動(dòng)密封收集系統(tǒng)

    爐管一端配有不銹鋼密封可轉(zhuǎn)動(dòng)水冷法蘭、螺旋送料裝置

     

    四、3路供氣系統(tǒng)參數(shù)

    連接頭類型

    雙卡套不銹鋼接頭

    標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

    500sccm、1000sccm、2000sccm(量程型號(hào)根據(jù)要求定制)

    zuida壓力

    3MPa

    接口

    Φ6

    顯示

    液晶屏顯示

    工作環(huán)境溫度

    5~45高純氣體

    內(nèi)外雙拋不銹鋼管

    Φ6

    壓力真空表

    -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

    截止閥

    Φ6卡套接頭

     

    五、真空機(jī)組參數(shù):

    空氣相對(duì)濕度

    ≤85%

    工作環(huán)境

    5℃~40℃

    工作電電壓

    220V±10%  50~60HZ

    功率

    1千瓦

    抽氣速率

    60m3/h

    極限真空

    5X10-1Pa

    工作壓力范圍

    1.01325X105~1.33X10-2Pa

    耐壓值

    0.03MPa

    容油量

    1.1L

    進(jìn)氣口口徑

    KF40

    排氣口口徑

    KF40

    連接方式

    采用波紋管,手動(dòng)擋板閥與波紋管相連

    電阻真空計(jì)參數(shù):

    配用規(guī)管:

    ZJ-52T電阻規(guī),

    測(cè)量范圍:

    10 5 ~10 -1 Pa,

    測(cè)量路數(shù):

    1路

    控制范圍:

     5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

    控制方式:

    繼電器觸點(diǎn)輸出,負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載

    電源:

    90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

    功耗:

    20W

     

     


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