| 詳細(xì)參數(shù) | |||
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| 品牌 | BEQ | 型號 | 其他 |
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真空腔室 |
φ120*H350mm |
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基片架 |
轉(zhuǎn)速可調(diào) |
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最大可鍍工件直徑 |
φ60mm |
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極限真空度 |
2X10-4Pa |
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抽氣時(shí)間 |
≤30min |
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功率 |
150W |
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真空系統(tǒng) |
進(jìn)口分子泵 |
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蒸發(fā)溫度 |
80-600度 |
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膜厚儀 |
單通道 |