濟(jì)南千斗工業(yè)科技有限公司
日本HONDA本多石英振動(dòng)體式清洗機(jī)W-357-1MQG-SKC
晶圓清洗更精細(xì)，損傷小 ■ 超聲波疊加在石英振動(dòng)體上，對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行清洗 。零件振動(dòng)，其加速度會(huì)清除表面的污垢。 ■ 實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體晶片的損傷少的清潔清洗 與 化學(xué)品接觸的部分使用石英，與使用橡膠材料的設(shè)備相比，沒(méi)有橡膠溶出或磨損，可以進(jìn)行清潔清洗。 ■ 由于具有振蕩器冷卻功能，通過(guò)氣體（氮?dú)獾龋├鋮s振蕩器，可以穩(wěn)定地連續(xù)運(yùn)行而不會(huì)發(fā)生頻率波動(dòng)。 此外，通過(guò)冷卻，溫度不會(huì)突然變化，使用壽命長(zhǎng)。
去除抗蝕劑殘留物 磨邊和灰化后去除聚合物 柵電極清洗 CMP 后清洗
■ 振蕩器
● 可變輸出范圍：0W 至 12W（振動(dòng)體的允許輸入：使用空氣吹掃進(jìn)行振蕩器冷卻時(shí)連續(xù) 10W） ● 周?chē)h(huán)境：溫度：15 至 35°C，濕度：10 至 85% ● 外部驅(qū)動(dòng)器觸點(diǎn)額定值：超聲波振蕩控制（控制側(cè)） 接點(diǎn)輸入：DC12V 16mA 以上 警報(bào)輸出（儀器） 接點(diǎn)容量：DC24V 0.5A ■ 附屬電纜：電源線（100V 2m / 200V 3m）、控制線（5m）x4
■ 振動(dòng)體
● 工作液體溫度范圍：20 至 50 ℃ ● 振蕩器：PZT ● 材料：振動(dòng)體：石英玻璃，包裝：硅橡膠，外殼：PCTFE ● 線長(zhǎng)：輸出線1.5m + 繼電器線3.5m ● 空氣凈化接頭：兼容管子（外徑φ6）
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