技術(shù)概述
透過刀具的高頻率振動(15~45kHz)及最高24,000rpm之轉(zhuǎn)動速度，形成一種結(jié)合研磨以及沖擊破壞材料加工技術(shù)，可輕易加工高硬度以及脆性材料，同時也可降低30~70%刀具/磨棒接觸材料時所產(chǎn)生的切削應(yīng)力（依據(jù)材質(zhì)而有所不同），因而提升刀具壽命和表面品質(zhì)。
減少硬脆材料加工碎邊
透過超音波輔助加工技術(shù)，可以輕易的加工硬脆材料，減少碎邊現(xiàn)象，提升表面品質(zhì)。
增加刀具壽命
因為減少了切削阻抗，刀具壽命也隨之增加。以0.5mm矽晶圓微細(xì)鉆孔為例，刀具壽命由3孔提升到236孔。
表面品質(zhì)優(yōu)異
透過超音波輔助加工，提升表面品質(zhì)穩(wěn)并于表面粗糙度 Ra 0.2 μm，可減少拋光制程。
超音波控制技術(shù)
絕佳的超音波控制技術(shù)，可以確保長時間加工穩(wěn)定性。透過本機控制器上 M-code操作，可輕松進行超音波開關(guān)、自動掃頻、頻率選擇，以及功率調(diào)整等動作。
BBT刀具系統(tǒng)
采用 BBT 刀具系統(tǒng)，先以標(biāo)準(zhǔn)刀具進行粗加工再以超音波刀把進行精加工，可大幅提升加工效率。
產(chǎn)業(yè)應(yīng)用
可運用在醫(yī)療產(chǎn)業(yè)、模具產(chǎn)業(yè)、精密陶瓷產(chǎn)業(yè)、玻璃產(chǎn)業(yè)、汽車及航太產(chǎn)業(yè)。